堆高機

　　大氣中存在大量的懸浮塵埃粒子，它們的存在極HEPA大地影響產品的精密化、微型化、高質量、高純度和高可靠性。

　　空氣中懸浮的粒狀污染物質是由固體或液體微粒子所組成。大氣塵可分為狹義大氣塵和廣義大氣塵：狹義大氣塵是指大氣中的固態粒子，即真正的灰塵；大氣塵的現代概念既包括固態微粒也包括液態微粒的多分散的氣溶膠，是專指大氣中的懸浮微粒，粒徑小於10μm，這就是廣義的大氣塵。對於大於10μm的粒子，因為較重，經過一段時間的無規則的布朗運動後，在重力的作用下，它們會逐漸沉降到地面上，是通風除塵的主要目標；大氣中0、1---10μm的灰塵粒子也在空氣中做無規則的運動，因重量較輕，則容易隨氣流漂浮，而很難沉降到地面上。因此，空氣潔淨技術中的大氣塵的概念和一般除塵技術中的灰塵的概念是有所區別的。

　　通風除塵用的尼龍網過濾器、金屬網過濾器、泡沫海綿過濾器過濾的灰塵，因為濾料的孔徑較大，一般大於10μm，主要是過濾大於10μm的灰塵，因此對0、1~~10μm的粒子，過濾效率很低；如果是對環境的淨化有一定的潔淨度要求，必須采取潔淨技術中的空氣過濾技術，才能達到淨化要求。空氣淨化的主要任務是根據各種產品的生產工藝、不同無塵室設備工程工序、各類房間的空氣潔淨度級別需要，采取空氣過濾技術來捕集大氣中的0、1---10μm懸浮塵埃粒子和微生物，使潔淨室或局部淨化區域中的塵埃粒子濃度或含菌濃度控制在允許範圍之內，以保證潔淨度的級別要求。

　　空氣中的懸浮粒子除微小液滴成球形外，其它粒子為結晶狀、片狀、塊狀、針狀、鏈狀等除味濾網，很難從幾何形狀去度量其尺寸。在潔淨技術中，粒徑的意義是指通過微粒內部的某個長度因次，並不含有規則幾何形狀的意義，只是便於比較粒子大小的一種“名義尺寸”。

　　空氣中的懸浮粒子分為非生物性粒子和生物粒子：非生物粒子是由固體、液體的破碎、蒸發、燃燒、凝聚產生的，其形成過程有物理作用或化學作用。生物粒子有微生物、植物的花粉、花絮及絨毛等；微生物一般包括病毒、立克次氏菌、細菌、菌類、原生蟲及藻類，其中與淨化關系較直接的是細菌和菌類。空氣中的微生物主要附化學濾網著在灰塵上，因此過濾掉空氣中的灰塵可以有效地清除空氣中的微生物，這也是生物淨化的主要理論依據。 根據不同國家和時間的大氣塵中微粒的統計，大氣塵中微粒數量隨著粒徑的增加而顯著減少，即在雙對數坐標圖上，數量和粒徑呈直線關系，特別是活性碳濾網對0、1---5μm；數量與質量的分布關系，亞微米級的微粒數量占總數的比例接近100%，而重量僅占總量的2%--3%；這也是潔淨相關標准可以在不同國家通用的理論依據。