什麼是空氣過濾器的效率呢?過濾器捕集粉塵的量與未過濾空氣中無塵室設備工程的粉塵量之比為“過濾效率”。不同作業環境所要求的潔淨等級不同，所以要采用不同效率的過濾器和相當的新風量才能滿足不同的潔淨度等級要求。
在決定過濾效率的因素中，粉塵“量”的HEPA含義多種多樣，由此計算和測量出來的空氣過濾器效率數值也就不同。實用中，有粉塵的總重量、粉塵的顆粒數量；有時是針對某一典型粒徑粉塵的量，有時是所有粉塵的量；還有用特定方法間接地反映濃度的通光量(比色法)、熒光量(熒光法)；有某種狀態的瞬時量，也有發塵全過程變化效率值的加權平均量。因此，對同一只過濾器采用不同的方法進行測試，測得的效率值就會不一樣，離開測試方法，過濾效率就無從談起。
所以對不同的空氣過濾器應分別采用不同化學濾網的方法進行檢測，選擇空氣過濾器時不能只考慮空氣過濾器的效率還應該了解其試驗方法和試驗塵。
隨著微電子工業的發展， 對高效過濾器要求越來越嚴， 德國標准DIN24183率先提出"最容易穿透粒徑
"(Most Penetrating Particle Size，除味濾網 簡稱MPPS)法， 並采用最容易穿透粒徑來檢測空氣過濾器的效率、 其實不同的濾料和不同的濾速最容易穿透粒徑是不同的， 一般在0、11um-0、25um範圍內、然後以此粒徑測試其效率或用於掃描實驗、 MPPS是目前最嚴格的試驗標准， 具體測試一般采用DOP方法。
高效過濾器在檢漏結果的判定上，不同的標准也有所差異。美國IEST-RP-CC034規定CD級高效過濾器現場檢漏透過率0、3um，光度計掃描檢漏法)為0、01。歐盟EN1822規定檢漏測試只要被測過濾器的局部透過率不超過規定的局部值便為合格，H13 級高效過濾器對應的局部透過率為0、25%，但要注意這裡的透過率是以0、3um 單分散相DOP測試得出的。
DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實驗塵源為0、3um單分散相DO活性碳濾網P液滴， 測量粉塵儀器為光度計， 以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率、 目前逐步采用大流量激光粒子計數器或凝結核計數器對過濾器整個出風面進行掃描檢驗。
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